無油真空泵的工作原理及應用領域

無油真空泵又名無油干式真空泵，屬于干式真空泵，（又簡稱干式機械泵）
    從上一次的全球峰會，到近日的國家兩會，走在提出：低碳、環保。節能的環保理念。油潤滑真空泵的使用會排出一定的二氧化碳和廢氣。在真空行業中，我們都建議使用干式泵

    工作原理
    無油真空泵由定子、轉子、旋片、缸體、電機等主要零件組成。帶有旋片的轉子，偏心地安裝在定缸內，當轉子高速旋轉時，轉子槽內四個徑向滑動旋片將泵腔分隔成四個工作室，由于離心力作用，旋片緊貼在缸壁，把定子進排出口分離開來，周而復始運轉，進行變容，將吸入氣體，從排氣口排出，從而達到抽氣目的。
    無油真空泵常見應用領域：
    1）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中；
    2）半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒；
    3）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，不希望微?；烊氡糜椭?，而希望微粒排出泵外，則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求；
    4）在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，要防止有機溶劑造成污染，適合用干式真空泵；
    5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。